Основное оборудование автоматизированной производственной линии PR-очистки для производителей ЖК-дисплеев
Автоматизированная производственная линия очистки PR (фоторезиста) является основным оборудованием для мокрой обработки в производстве ЖК-дисплеев. В основном он используется после процесса фотолитографии на подложке матрицы для тщательного удаления остаточного фоторезиста, остатков травления и поверхностных микро-загрязнений. Это важнейшее оборудование для обеспечения точности схемы панели и повышения выхода продукции. Идеально подходит для жестких производственных условий в чистых помещениях класса 100 и обеспечивает высокую-точность, автоматизацию и-чистую работу по замкнутому-контуру очистки, не загрязняющую окружающую среду.
Для удаления остатков положительного и отрицательного фоторезиста после процесса фотолитографии он использует многоэтапную-ультразвуковую очистку + процесс промывки чистой водой для глубокого удаления мусора, органических загрязнений, частиц пыли и других примесей, оставшихся после фотолитографического травления. Он может тщательно удалять микроскопические остатки размером менее 0,5 мкм, предотвращая такие дефекты, как разрыв цепи панели, яркие пятна и пятна Мура, вызванные примесями. В сочетании с прецизионной системой фильтрации высотой 0,1 мкм-он предотвращает вторичное загрязнение. Обеспечивает тщательное,-удаление без повреждений, избегая влияния остаточных слоев клея на последующие процессы травления и нанесения покрытия, при этом степень покрытия удалением составляет 100 %.
Встроенный-модуль электростатического контроля ESD строго контролирует значение электростатического заряда в диапазоне менее или равном ±100 В. В сочетании с антистатическим -материалом полости и технологией бесконтактной доставки магнитного колеса это позволяет избежать повреждения точных схем панели электростатическим разрядом, а также предотвращает появление царапин, сколов и образование пыли в результате трения о стеклянную подложку, тем самым максимально защищая целостность подложки.
Испытательная камера с постоянной температурой и высокой и низкой температурой
В основу автоматизированной производственной линии очистки и сушки для производителей ЖК-экранов входит двойной режим сушки: резка воздушным ножом и сушка горячим воздухом при постоянной-температуре. Это быстро удаляет пятна от воды с поверхности носителя, обеспечивая-отсутствие водяных знаков и-высыхание без следов. После высыхания влажность поверхности подложки приближается к нулю, что позволяет напрямую переходить к следующему процессу без вторичной обработки, обеспечивая непрерывность процесса. Система управления ПЛК обеспечивает полностью автоматизированный-замкнутый цикл загрузки, позиционирования, очистки и разгрузки. Он поддерживает функции мониторинга-в реальном времени и сигнализации для регулировки концентрации чистящего раствора, температуры, влажности и чистоты. Герметичная камера и конструкция с градиентным отрицательным давлением предотвращают утечку химического газа. В сочетании с положительным давлением в чистом помещении класса 100 это также обеспечивает рециркуляцию сверхчистой воды, а также классификацию и утилизацию отработанных жидкостей, что соответствует требованиям-сбережения энергии и защиты окружающей среды.
По сравнению с традиционной ручной очисткой полностью автоматизированные линии очистки PR обладают незаменимыми преимуществами: эффективность очистки увеличивается более чем в 3 раза, за смену можно обрабатывать почти 10 000 стеклянных подложек, что значительно сокращает технологический цикл; консистенция очистки превосходна, тщательно удаляются микро-остатки размером менее 0,5 мкм, контролируется процент дефектов панели с точностью до 0,5 частей на миллион, эффективно избегая таких дефектов, как яркие пятна, темные пятна и разрывы цепей на экране; оборудование имеет водо{6}}сберегающую и энергосберегающую- конструкцию, с высокой степенью восстановления чистой воды и классифицированным сбором и очисткой сточных вод, что соответствует производственным требованиям по охране окружающей среды; Вся машина изготовлена из коррозионно--стойкого ПВХ и нержавеющей стали SUS304, имеет прочное уплотнение, проста в очистке и обслуживании и пригодна для круглосуточной-непрерывной работы в чистых помещениях, становясь стандартным оборудованием для производителей ЖК-экранов для создания высококачественных продуктовых линеек и повышения основной конкурентоспособности.
Основное оборудование цеха фотолитографии производителей ЖК-дисплеев
Оборудование для экспонирования является основным оборудованием в цехе фотолитографии и ключевым технологическим участком в процессе производства ЖК-матриц. Это устройство для высокоточной-оптической мокрой обработки, также известное как машина для панельной литографии. Его основной функцией является перенос рисунка схемы подложки на стеклянную подложку, покрытую фоторезистом, путем оптического воздействия, что имеет решающее значение для формирования микросхем в панели. Точный перенос рисунка схемы с фотомаски на стеклянную подложку является обязательным условием для последующих процессов травления, нанесения покрытия и PR-очистки, напрямую определяющих качество экрана дисплея. В оборудовании используется бесконтактный процесс экспонирования, подходящий для больших-тонких стеклянных подложек ЖК-дисплеев, позволяющий избежать царапин, повреждений и загрязнения подложки.
Основные технологические особенности включают в себя высокоточную-систему выравнивания с точностью наложения на уровне микрона-или даже суб{2}}микрона-, обеспечивающую нулевое смещение при укладке много-схем с ошибками, контролируемыми с точностью до нескольких тысячных долей диаметра волоса; использование источника света с равномерной экспозицией и технологии динамической фокусировки для достижения колебаний энергии экспозиции<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Во всей мастерской используется монохроматический источник желтого света с длиной волны 589 нм, который полностью отфильтровывает коротковолновый свет, такой как ультрафиолетовый, синий и белый, и предотвращает преждевременное срабатывание этих лучей фотохимических реакций в фоторезисте, вызывающих фатальные дефекты, такие как смещение рисунка, неполные линии, короткие замыкания и разомкнутые цепи. В системе освещения используется комбинация специальных желтых светодиодов и двухслойных-фильтров для предотвращения утечки постороннего света; двери, окна и смотровые окна оборудованы фильтрующими материалами, защищающими от-ультрафиолета; в цехе строго запрещены мобильные телефоны, фотоаппараты,-мощные фонарики и другие внешние источники света, а на всей-зоне осуществляется контроль световой дисциплины, чтобы исключить риск преждевременного обнажения фоторезиста от источника.
Введение в чистые помещения класса 100 для производителей ЖК-дисплеев
В области высокоточного-производства ЖК-дисплеев чистые помещения класса 100 (чистые помещения класса 5 по ISO) являются основным производственным объектом и ключевым показателем технической мощи производителя и объема выпуска продукции. Они широко используются на основных этапах процесса, таких как сборка массивов, ячеек и упаковка модулей, ведущими компаниями по производству дисплеев, такими как BOE, TCL CSOT, HKC и Tianma. В этих чистых помещениях действуют строгие стандарты чистоты: не более 100 взвешенных частиц пыли диаметром более или равных 0,5 мкм на кубический фут воздуха (менее или равных 3520 на кубический метр). Этот уровень чистоты намного превышает уровень чистоты в медицинских операционных и служит «жестким барьером», предотвращающим влияние пыли, статического электричества и химических загрязнений на точные процессы. Это основной аппаратный компонент, напрямую определяющий качество изображения, срок службы и производительность экрана.
Мастерская спроектирована и построена строго в соответствии с международными и отечественными стандартами ISO. Он использует режим вертикального однонаправленного воздушного потока в сочетании с четырехступенчатой системой фильтрации ULPA (фильтр предварительной-фильтрации, фильтр средней{3}}эффективности, фильтр высокой-эффективности и фильтр сверх-высокой-эффективности), обеспечивая эффективность фильтрации до 99,999 %, обеспечивая мгновенное удаление пыли и устранение мертвых зон воздушного потока. Одновременно достигается точный контроль окружающей среды во всех измерениях: постоянная температура 23 ± 1 градус, относительная влажность, контролируемая на уровне 45 % - 55 %, положительное давление, поддерживаемое в чистой зоне, и разница давлений, превышающая или равная 10 Па между соседними зонами, полностью предотвращающая проникновение внешней пыли; учитывая восприимчивость панелей дисплея к электростатическому повреждению, используется анти-самовыравнивающееся эпоксидное-пол, а для стен и потолков используются пластины из нержавеющей стали 304 и стали цвета чистых помещений со строгим контролем значений статического электричества на протяжении всего процесса; обеспечивается дополнительный контроль химических загрязнителей ЛОС на молекулярном- уровне и скрытых помех, таких как микровибрации, что соответствует требованиям наномасштабных процессов, таких как фотолитография, осаждение тонких пленок и инжекция жидких кристаллов.
В цехе используется многоуровневое зонирование чистых помещений, разделенное на основную зону класса 100, буферную зону класса 1000 и вспомогательную зону класса 10 000, при этом слои предотвращают перекрестное -загрязнение, а персонал и автоматизированные конвейерные линии материалов полностью разделены. Персонал должен пройти тройную процедуру переодевания, проветривания и электростатического обнаружения и может войти только после того, как наденет полный-костюм для чистых помещений, пылезащитные-перчатки и защитные очки; материалы передаются через взаимосвязанные передаточные окна и подвергаются обработке для удаления пыли и статического электричества; внутренняя часть оборудована вытяжными шкафами с ламинарным потоком FFU, онлайн-счетчиками частиц, датчиками температуры и влажности, мониторами перепада давления и другим оборудованием для круглосуточного мониторинга в режиме реального времени и отслеживания данных, а также для немедленного выдачи предупреждений и внесения корректировок в случае аномальных показателей для обеспечения постоянной стабильности окружающей среды.
